製品選択
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コンポーネント製品

 ● 規格製品

 (フランジ、フィッティング、真空用導入端子、モーションフィードスルーなど)

 ● UHVマニピュレータ

 ● 電流導入端子

 ● ベーキングテント、ベーキングヒーター 

 
蒸発源

 ● ミニチュアエバポレータ(EB)

 ● ミニチュアK-Cell

 ● 微粒子生成セル 

 
イオン源

 

 ● イオンビームスパッタ

 ● 小型ECRプラズマイオン源

 ● アトムソース

 ● EMDS(エレクトロスプレーデポジション) 

 

 

 
解離水素

● 水素解離(サーマルクラック)

● アトムソース(プラズマ解離) 

 
試料加熱

 ● UHVサンプルヒーター