● 規格製品
(フランジ、フィッティング、真空用導入端子、モーションフィードスルーなど)
● UHVマニピュレータ
● 電流導入端子
● ベーキングテント、ベーキングヒーター
● ミニチュアエバポレータ(EB)
● ミニチュアK-Cell
● 微粒子生成セル
● イオンビームスパッタ
● 小型ECRプラズマイオン源
● アトムソース
● EMDS(エレクトロスプレーデポジション)
● 水素解離(サーマルクラック)
● アトムソース(プラズマ解離)
● UHVサンプルヒーター