フランジ＆フィッティング

ISO-KF、LFフランジ

CFフランジ

大口径メタルシールフランジ 

OFHCガスケット

UHV対応　電流導入端子

DC,AC電流導入

熱電対フィードスルー

同軸型端子

RF導入端子

アイソレータ　etc

UHVマニピュレータ

Shutter 

Z-Motion Translator

ベーキングユニット

UHV装置のベークアウトに使用する温風還流型ヒーター 

バリアブルリークバルブ