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バリアブルリークバルブ

  

●マウントフランジ：CF70（DN40CF)
　ガス導入フランジ：CF34(DN16CF)

●使用真空度：大気圧～10E-9Pa程度

●オペレーション最小リーク量：1.3ｘ10E-9Pa m3/sec (Normal) 
●ベーキング温度：≦450℃
●主要構造材質 = SUS304
　接ガス部構造材質　Copper/Sapphire,Koval,Inconel

 

 

 

 

 
 
   
   
   

Variable Leak Valveは、真空チャンバー内に気体を導入する際、流入させる気体の流量を精密に導入制御する為のデバイスです。手動のハンドノブの回転量に追従し、安定したリーク量と直線的流量変化を可能にします。

流量制御範囲が高真空域まで連続した特性を有し、高真空デバイスならではの高いベーカブル温度（≦450℃）が特徴です。

 
   
 
   
 
製品仕様
マウントフランジ CF70 （スルーホール）
ガス導入フランジ CF34（回転）
オペレーション最小リーク量 1.3ｘ10E-9 Pa m3/sec
流量制御範囲（Pa m3/sec） 1.3ｘ10E-11～10E-6
ターン数 7 turns
デッドボリューム 20ｃｃ
取付方向 自在
ベークアウト ≦450°C
主要構造材質 SUS304
 
   
 
(2017年6月現在)  
ORDER INFOMATION'S
型　式 マウントフランジ 価格（税別）
VLV-70 CF70 ¥186,000
 
 

ガス導入口変換アダプターオプション　

ORDER INFOMATION'S

型　式 型　式 価格（税別）
 CF34-Swagelok1/4  C16-SWG25 ¥6,800
  CF34-VCR1/4（Male）  C16-VCR25-M ¥8,300
CF34-VCR1/4（Female）

 C16-VCR25-F

¥8,600