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蒸発源
 

蒸発源

表面科学、スピントロニクス、超伝導薄膜、磁性材料分野 ナノ構造分野の各種薄膜生成

メタルベーパーソース(物理蒸着源)としての各種物理分野での応用

 
製品一覧

E-Flux 

小型EB蒸発源
CF70マウント 

Effusion Cell 

独自のヒーター構造を有する高温度セルです。

不活性ガス負荷中での微粒子生成のアプリケーション

 

 

       
 

E-Flux2 

多元(2元)蒸発源

   
       
 

 

E-Flux4 

多元(4元)蒸発源
CF70マウント 

 

Mini K-Cell

有機物材料の蒸着などに優れます。