表面科学、スピントロニクス、超伝導薄膜、磁性材料分野 ナノ構造分野の各種薄膜生成
メタルベーパーソース(物理蒸着源)としての各種物理分野での応用
E-Flux
小型EB蒸発源 CF70マウント
Effusion Cell
独自のヒーター構造を有する高温度セルです。
不活性ガス負荷中での微粒子生成のアプリケーション
E-Flux2
多元(2元)蒸発源
E-Flux4
多元(4元)蒸発源 CF70マウント
Mini K-Cell
有機物材料の蒸着などに優れます。