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解離水素
 

解離水素
解離水素源(Atom Source）はサーマルクラッキング方式とプラズマ（ECR）解離方式の2種類の製品をラインナップ
 
製品一覧

H-Flux

クラッキング効率に優れたサーマルクラッキング方式の製品です。

Atom Source

ECRプラズマ方式のAtom Sourceです。水素以外のガス種にも対応可能